就
是
對
待
工
作
的
態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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熱搜：HMDS烘箱 無塵烤箱 無氧烤箱
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真空和非真空的高溫無氧烘箱（520）
來源:
|
作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2022-05-20
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高溫無氧烘箱技術參數 ：
工作室尺寸：W800mm×800mm×H800mm
材質：內箱采用優質耐高溫SUS304不銹鋼，外箱采用優質冷軋板噴塑，
溫度范圍：RT+50-450℃
溫度分辨率：0.1℃
溫度波動度：≤±1℃
溫度均勻度：≤1.5%℃
潔凈度：使用環境同等級，可選百級(class100)無塵
升溫速度:0-10℃/min
降溫方式:自然降溫或輔助降溫（降溫速率約4℃/min）
氧含量：≤20ppm
彩色觸摸屏操作，可程式/定值運行
樣品架：2-4層不銹鋼沖孔樣品架
高溫無氧烘箱用途：
用于精密電子元件、銀膠固化、PI/BCB/BPO膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、晶圓退火電子陶瓷材料防氧化烘干、測試的特殊工藝要求。
高溫真空無氧烘箱
高溫真空無氧烘箱技術參數
溫度范圍： RT ～300/450℃；可定制
溫度波動度：≤±1℃，
升溫速度：0-10℃/min；
降溫方式：自然降溫或風冷+水冷降溫
氮氣控制： 可調試流量計控制
氧含量檢測：20～1000ppm
工作尺寸： W350×H350×D350,
W450×H450×D450，
W600×H600×D600可定制
高溫真空無氧烘箱結構：
箱體材料：外箱采用優質冷軋板烤漆；
內室材料：采用316L醫用級不銹鋼；
保溫材料：超細陶瓷纖維；
排 氣 口：有
真空泵：渦旋干泵
